報(bào) 告 人：談宜東

報(bào)告題目：激光干涉超精密測(cè)量技術(shù)、儀器及應(yīng)用

報(bào)告時(shí)間：2024年5月23日（周四）下午2：30

報(bào)告地點(diǎn)：物理與電子工程學(xué)院428會(huì)議室

主辦單位：物理與電子工程學(xué)院、科學(xué)技術(shù)研究院

報(bào)告人簡(jiǎn)介：

談宜東，清華大學(xué)精密儀器系副主任，長(zhǎng)聘教授。國(guó)家級(jí)人才，教育部創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)負(fù)責(zé)人，英國(guó)皇家學(xué)會(huì)“牛頓高級(jí)學(xué)者”，國(guó)家自然科學(xué)基金優(yōu)秀青年基金獲得者。主要從事激光技術(shù)和精密測(cè)量方面的教學(xué)科研工作。曾在美國(guó)加州理工學(xué)院做訪(fǎng)問(wèn)學(xué)者。

作為負(fù)責(zé)人承擔(dān)基金委、教育部、科技部、裝發(fā)、科工局和軍科委等國(guó)家級(jí)項(xiàng)目40余項(xiàng)。發(fā)表SCI論文100余篇，授權(quán)發(fā)明專(zhuān)利35項(xiàng)，國(guó)際會(huì)議Keynote/Plenary/Invited報(bào)告40余次。先后獲日內(nèi)瓦國(guó)際發(fā)明展金獎(jiǎng)，國(guó)內(nèi)省部級(jí)科技獎(jiǎng)勵(lì)6項(xiàng)（一等獎(jiǎng)2項(xiàng)）。擔(dān)任中國(guó)電子信息行業(yè)聯(lián)合會(huì)光電產(chǎn)業(yè)委員會(huì)副會(huì)長(zhǎng)、中國(guó)儀器儀表學(xué)會(huì)科普工作委員會(huì)副主任、中國(guó)儀器儀表學(xué)會(huì)機(jī)械量測(cè)試儀器分會(huì)常務(wù)理事等。擔(dān)任《中國(guó)激光》《紅外與激光工程》《應(yīng)用光學(xué)》《計(jì)測(cè)技術(shù)》青年編委，《激光技術(shù)》《激光與光電子學(xué)進(jìn)展》編委。

報(bào)告摘要：

“沒(méi)有測(cè)量就沒(méi)有科學(xué)”，對(duì)物理量越來(lái)越精確的測(cè)量已成為現(xiàn)代科學(xué)和技術(shù)領(lǐng)域孜孜追求的目標(biāo)。激光干涉超精密測(cè)量具有可溯源，納米甚至皮米高分辨力，以及數(shù)米、幾公里甚至上千公里的超長(zhǎng)測(cè)量范圍等突出優(yōu)點(diǎn)，在IC裝備、微納制造、引力波探測(cè)等先進(jìn)技術(shù)和前沿科學(xué)等重大領(lǐng)域，應(yīng)用廣泛。本次報(bào)告圍繞IC裝備、航空航天和先進(jìn)制造中的精密測(cè)量需求，介紹了清華大學(xué)激光與精密測(cè)量應(yīng)用團(tuán)隊(duì)的最新成果和進(jìn)展，包括：極低非線(xiàn)性誤差的激光干涉超精密測(cè)量原理、技術(shù)及儀器，并介紹了光刻機(jī)用干涉儀光源成規(guī)模國(guó)產(chǎn)替代應(yīng)用；具有超高靈敏度的激光回饋干涉測(cè)量原理、技術(shù)及系列儀器，介紹了在若干國(guó)家重大工程中的應(yīng)用。最后總結(jié)和展望了該領(lǐng)域的未來(lái)發(fā)展趨勢(shì)。